| 发明名称 |
PLASMA PRODUCING METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0785995(A) |
申请公布日期 |
1995.03.31 |
| 申请号 |
JP19930232801 |
申请日期 |
1993.09.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAKEHI YUTAKA;WATANABE SEIICHI;FURUSE MUNEO;USUI TAKETO;KAJI TETSUNORI;WATANABE KATSUYA |
| 分类号 |
G01R33/64;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 |
主分类号 |
G01R33/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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