| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Mikromembranpumpe bestehend aus zwei Ventilkammern, einer dazwischen angeordneten Pumpenkammer, wobei jede Ventilkammer durch einen Kanal mit der Pumpenkammer verbunden ist, einem Pumpenantrieb und einer Membran welche die drei Kammern verschließt, wobei die Membran im Bereich der einen Ventilkammer ein Einlaßventil und im Bereich der anderen Ventilkammer ein Auslaßventil trägt. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Pumpe so auszugestalten, daß beide Ventile auf der gleichen Seite der Membran aufgebaut werden können und den Fertigungsprozeß für die Pumpenkörper wesentlich zu vereinfachen. Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, daß die Ventile in die Membran integriert sind und die auf die Membran strukturierten Ventilteile auf der gleichen Membranseite liegen und daß ein Pumpenkörper, welcher die Pumpenkammer und die Ventilkammern enthält, aus einem Stück gefertigt ist.</p> |
