发明名称 USES OF MICROSPHERES AND MICROSPHEROIDS MADE OF DIAMOND, CBN OR STRUCTURED CERAMIC MATERIALS IN MICROMECHANICS, SENSOR AND MEDICAL TECHNOLOGY, TRIBOLOGY AND RELATED FIELDS
摘要 <p>Die Erfindung bezieht sich auf Anwendungen von sphärischen oder sphäroidischen Körnern aus Diamant, kubischem Bornitrid (CBN) oder strukturkeramischen Werkstoffen für die Herstellung von Strukturelementen und Bauteilen in der Mikromechanik, Mikroelektromechanik, Sensor- und Medizinaltechnik, Tribologie und verwandten Gebieten, wie zum Beispiel zur Herstellung von Kugellagern und reibungs- und verschleissarmen Gleitflächen, Kugelventilen und -hähnen und Pumpen im Submillimeter- und Mikrobereich, Mikropumpen zur Förderung kleinster Mengen von Gasen, Pulvern oder Flüssigkeiten und die Produktion von Mikrokolben wie auch von ultrapräzisen Mikrospritzen für Volumina von 1 νl bis hinunter zu 1 al(1.10-18l).</p>
申请公布号 WO1995008721(A1) 申请公布日期 1995.03.30
申请号 EP1994003115 申请日期 1994.09.16
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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