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发明名称 Anordnung von Strahlaustastungsblenden, Verfahren zur Herstellung derselben, Gerät und Verfahren zur Belichtung von mit einem Strahl geladenen Teilchen.
摘要
申请公布号 DE69017095(D1) 申请公布日期 1995.03.30
申请号 DE19906017095 申请日期 1990.05.18
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 FUEKI, SHUNSUKE, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 223, JP;YASUDA, HIROSHI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 222, JP;SAKAMOTO, KIICHI, TOKYO 170, JP;TAKAHASHI, YASUSHI, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 213, JP
分类号 H01J37/04;H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/09;H01J37/317 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
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