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发明名称 Verfahren zum Herstellen von Mikrostrukturelementen auf einem Substrat, welche mit integrierten Schaltkreisen elektromechanisch, optisch oder elektrisch zusammenwirken
摘要
申请公布号 DE4304424(C2) 申请公布日期 1995.03.30
申请号 DE19934304424 申请日期 1993.02.13
申请人 KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH, 76133 KARLSRUHE, DE 发明人 MICHEL, ANDREAS, DR., 7514 EGGENSTEIN-LEOPOLDSHAFEN, DE;HARMENING, MICHAEL, DR., 6945 HIRSCHBERG, DE;BACHER, WALTER, DR., 7513 STUTENSEE, DE;BLEY, PETER, DR., 7514 EGGENSTEIN-LEOPOLDSHAFEN, DE;RUPRECHT, ROBERT, DR., 7519 WALZBACHTAL, DE;BOTH, ALEXANDER, 7500 KARLSRUHE, DE
分类号 H01L21/3205;B81B7/02;G03F7/00;(IPC1-7):H01L49/00;H01L21/31;H05K3/10;C25D1/00;C23F4/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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