发明名称 Process for the separation of a gaseous hydride or a mixture of gaseous hydrides with the aid of a membrane.
摘要 <p>L'invention concerne un procédé de séparation d'un hydrure gazeux ou d'un mélange d'hydrures gazeux, ne comprenant pas le silane, d'un milieu gazeux contenant au moins un gaz du groupe constitué par H2, Ar, He, selon lequel on fait passer le milieu gazeux (1) sur un module membranaire (6), de façon à obtenir en sortie du module une concentration du dit hydrure ou du dit mélange d'hydrures supérieure à sa concentration dans le milieu gazeux.</p>
申请公布号 EP0645345(A1) 申请公布日期 1995.03.29
申请号 EP19940402015 申请日期 1994.09.09
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 BOUARD, PASCAL;LABRUNE, PHILIPPE;VILLERMET, ALAIN;GASTIGER, MICHEL
分类号 B01D53/22;C01B6/34;C01B33/04;H01L21/20;(IPC1-7):C01B6/34 主分类号 B01D53/22
代理机构 代理人
主权项
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