发明名称 TWO-LEVEL MICROBRIDGE BOLOMETER IMAGING ARRAY AND METHOD OF MAKING SAME.
摘要
申请公布号 EP0645054(A1) 申请公布日期 1995.03.29
申请号 EP19920914216 申请日期 1992.06.11
申请人 HONEYWELL INC. 发明人 HIGASHI, ROBERT, E.;JOHNSON, ROBERT, G.;HOLMEN, JAMES, O.
分类号 G01J1/02;G01J5/02;G01J5/20;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/16;H01L37/02;(IPC1-7):H01L31/08 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
地址