| 发明名称 |
Forming a prescribed pattern on a semiconducor device layer. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0630044(A3) |
申请公布日期 |
1995.03.29 |
| 申请号 |
EP19940114930 |
申请日期 |
1989.08.15 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
OKUMURA KATSUYA C O INTELLECTU;WATANABE TOHRU C O INTELLECTUA;WATASE MASAMI C O INTELLECTUAL |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/033;H01L21/208;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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