| 发明名称 |
METHOD FOR REMOVING METALLIC IMPURITY AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0781902(A) |
申请公布日期 |
1995.03.28 |
| 申请号 |
JP19930230699 |
申请日期 |
1993.09.17 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
YAMAMOTO KENICHI;SHIMONO TSUGIO |
| 分类号 |
B01D15/00;B01J20/02;C01B7/19;C23F1/46;H01L21/304;H01L21/308;(IPC1-7):C01B7/19 |
主分类号 |
B01D15/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
