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发明名称
MEASUREMENT SENSOR AND CIRCUIT FOR FILM THICKNESS
摘要
申请公布号
JPH0783605(A)
申请公布日期
1995.03.28
申请号
JP19930233445
申请日期
1993.09.20
申请人
KET KAGAKU KENKYUSHO:KK
发明人
YUKI HIDEYASU
分类号
G01B7/06;G01B7/00;(IPC1-7):G01B7/06
主分类号
G01B7/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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