| 发明名称 |
STAGE BUILT-IN TYPE ATMOSPHERE CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0780273(A) |
申请公布日期 |
1995.03.28 |
| 申请号 |
JP19930230312 |
申请日期 |
1993.09.16 |
| 申请人 |
TOSHIBA MACH CO LTD |
发明人 |
MIYANO YOSHINORI;SAITO HIDEO;KOKUBO MITSUNORI |
| 分类号 |
B01J3/00;(IPC1-7):B01J3/00 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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