发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF SILICON EPITAXIAL STRUCTURES WITH INTERNAL GETTER
摘要
申请公布号 RU1797403(C) 申请公布日期 1995.03.27
申请号 SU19904800783 申请日期 1990.03.11
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT "PULSAR";INSTITUT PROBLEM TEKHNOLOGII MIKROELEKTRONIKI AN SSSR 发明人 ENISHERLOVA-VELYASHEVA K.L.;ALESHIN A.N.;MORDKOVICH V.N.;RUSAK T.F.;KAZAKEVICH M.YA.
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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