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发明名称
PROCESS OF MANUFACTURE OF SILICON EPITAXIAL STRUCTURES WITH INTERNAL GETTER
摘要
申请公布号
RU1797403(C)
申请公布日期
1995.03.27
申请号
SU19904800783
申请日期
1990.03.11
申请人
NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT "PULSAR";INSTITUT PROBLEM TEKHNOLOGII MIKROELEKTRONIKI AN SSSR
发明人
ENISHERLOVA-VELYASHEVA K.L.;ALESHIN A.N.;MORDKOVICH V.N.;RUSAK T.F.;KAZAKEVICH M.YA.
分类号
H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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