发明名称 METHOD OF CONTROL OVER PLASMA FLUX AND PLASMA DEVICE
摘要
申请公布号 RU2032280(C1) 申请公布日期 1995.03.27
申请号 SU19925026317 申请日期 1992.02.18
申请人 INZHENERNYJ TSENTR "PLAZMODINAMIKA" 发明人 IVANOV VLADIMIR V;KULIK PAVEL P;LOGOSHIN ALEKSEJ N
分类号 H05H1/26;H05H1/00;H05H1/36;H05H1/40;H05H1/44;H05H1/50;(IPC1-7):H05H1/26 主分类号 H05H1/26
代理机构 代理人
主权项
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