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发明名称 Verwendung von permeablen Materialien zur Verbesserung des Heisspressprozesses.
摘要
申请公布号 DE69105189(T2) 申请公布日期 1995.03.23
申请号 DE19916005189T 申请日期 1991.12.11
申请人 W.R. GRACE & CO., NEW YORK, N.Y., US 发明人 ENLOE, JACK HARRISON, COLUMBIA, MD 21045, US;LAU, JOHN WING-KEUNG, GAITHERSBURG, MD 20878, US
分类号 B28B3/00;B22F3/14;B28B3/02;B28B7/40;B30B11/02;C04B35/645;H01L21/48;(IPC1-7):C04B35/64 主分类号 B28B3/00
代理机构 代理人
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