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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturkörpern
摘要
申请公布号 DE4332108(C1) 申请公布日期 1995.03.23
申请号 DE19934332108 申请日期 1993.09.22
申请人 KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH, 76133 KARLSRUHE, DE 发明人 EL-KHOLI, AIDA, DR., 76351 LINKENHEIM-HOCHSTETTEN, DE;PANTENBURG, FRANZ-JOSEF, 76646 BRUCHSAL, DE;MOHR, JUERGEN, DR., 75056 SULZFELD, DE;RENDL, ERWIN, 76149 KARLSRUHE, DE
分类号 B29C35/08;B29C67/00;G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/38;B29C39/42 主分类号 B29C35/08
代理机构 代理人
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