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Method and apparatus for measuring thickness of thin films.
摘要
申请公布号
EP0397388(B1)
申请公布日期
1995.03.22
申请号
EP19900304800
申请日期
1990.05.02
申请人
THERMA-WAVE, INC. (A DELAWARE CORPORATION)
发明人
GOLD, NATHAN;OPSAL, JON;WILLENBORG, DAVID L.;ROSENCWAIG, ALLAN
分类号
G01B11/06;G01N21/21;(IPC1-7):G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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