发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0778816(A) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 JP19930161242 申请日期 1993.06.30
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 SAKAIRI SO
分类号 H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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