发明名称 TWO-STAGE OIL-SEALED ROTARY VACUUM PUMP
摘要
申请公布号 JPH0777184(A) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 JP19930247556 申请日期 1993.09.08
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 YAHAGI MITSURU;TAIHICHI TORU;NAKA KATSUNORI;TATENO SHUNICHI
分类号 F04C25/02;F04C23/00;F04C29/04;(IPC1-7):F04C25/02 主分类号 F04C25/02
代理机构 代理人
主权项
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