| 发明名称 |
EVALUATION OF DEFECT IN SEMICONDUCTOR CRYSTAL AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0778857(A) |
申请公布日期 |
1995.03.20 |
| 申请号 |
JP19930222505 |
申请日期 |
1993.09.07 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
USUDA KOJI;YAMADA HIROSAKU;KANETANI HIROYUKI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N1/32;G01N37/00;G01Q30/20;G01Q60/10;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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