发明名称 PROCESS OF MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 RU2031479(C1) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 SU19925044594 申请日期 1992.05.27
申请人 SAMSONENKO BORIS NIKOLAEVICH 发明人 SAMSONENKO BORIS N;NARNOV BORIS A
分类号 H01L21/288;(IPC1-7):H01L21/288 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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