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发明名称
SUBSTRATE TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0778767(A)
申请公布日期
1995.03.20
申请号
JP19930179850
申请日期
1993.06.24
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
MATSUNAMI TORU
分类号
C23C14/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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