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发明名称 HEAT-TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0778749(A) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 JP19930245905 申请日期 1993.09.06
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK 发明人 MURAKAMI MASAAKI;NAGATA JUNICHI;HARADA KOJI
分类号 C23C16/46;H01L21/027;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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