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发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0778796(A) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 JP19940157387 申请日期 1994.07.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SATO TAKEO;KAWAI KAORU
分类号 B23Q3/08;H01L21/301;H01L21/304;H01L35/32;(IPC1-7):H01L21/301 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
主权项
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