| 发明名称 |
SHAPE PARAMETER MEASURING METHOD AND DEVICE FOR LIMITED MULTI-DIMENSIONAL SHAPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0777420(A) |
申请公布日期 |
1995.03.20 |
| 申请号 |
JP19930224293 |
申请日期 |
1993.09.09 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
SASAKI TOYOHARU;OKAMOTO HIDEAKI;ISHIKAWA FUMIO;ITO IZUMI;KISHINAMI KENJI |
| 分类号 |
G01B21/00;G01B21/20;(IPC1-7):G01B21/20 |
主分类号 |
G01B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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