发明名称 FABRICATION OF SOLID STATE IMAGE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0778958(A) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 JP19930224106 申请日期 1993.09.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAGAWA HIDEKI;UEHARA MASAO;MIYAZAWA TOSHIO;TAKEMOTO KAYAO;TANAKA KIYOSHI;KIMURA KATSUTAKA
分类号 H01L21/304;H01L27/148;(IPC1-7):H01L27/148 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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