| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR INDUCTION COUPLING HIGH FREQUENCY DISCHARGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0778698(A) |
申请公布日期 |
1995.03.20 |
| 申请号 |
JP19930226107 |
申请日期 |
1993.09.10 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SUGAI HIDEO;ICHIHARA KATSUTARO;YASUDA NOBURO;OKUBO MICHIKO |
| 分类号 |
B01J19/08;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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