| 发明名称 |
SUBSTRATE CARRYING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0773991(A) |
申请公布日期 |
1995.03.17 |
| 申请号 |
JP19930240676 |
申请日期 |
1993.08.31 |
| 申请人 |
TAKASAGO THERMAL ENG CO LTD |
发明人 |
SAKATA SOICHIRO;TAKAHASHI HIDETO;SATO KATSUMI |
| 分类号 |
H01L23/00;H05F3/02;H05F3/04;H05F3/06;(IPC1-7):H05F3/02 |
主分类号 |
H01L23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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