| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THIN FILM CHARACTERISTICS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0771924(A) |
申请公布日期 |
1995.03.17 |
| 申请号 |
JP19930217202 |
申请日期 |
1993.09.01 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IWATA HISAFUMI;AIBA YOSHIHIKO;NAGATSUKA TOSHIHARU;KUBOTA HITOSHI |
| 分类号 |
G01B11/06;G01N21/45;G01N21/59;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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