发明名称 VACUUM VALVE AND VACUUM EXHAUST METHOD USING THIS VALVE
摘要
申请公布号 JPH0771649(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930216536 申请日期 1993.08.31
申请人 KYOCERA CORP 发明人 OYAMA TAKESHI
分类号 F16K51/02;(IPC1-7):F16K51/02 主分类号 F16K51/02
代理机构 代理人
主权项
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