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发明名称 POSITION DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0771911(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930221007 申请日期 1993.09.06
申请人 NIKON CORP 发明人 YONEZAWA YASUO
分类号 G01B11/00;G01C3/06;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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