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发明名称
PROBE SUBSTRATE, ITS MANUFACTURE AND PROBE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0774219(A)
申请公布日期
1995.03.17
申请号
JP19930240496
申请日期
1993.08.31
申请人
KURISUTARU DEVICE:KK
发明人
MASUDA TAKAHIRO
分类号
G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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