| 发明名称 |
MEASURING METHOD FOR DEGREE OF VACUUM AND IONIZATION VACUUM GAGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0772031(A) |
申请公布日期 |
1995.03.17 |
| 申请号 |
JP19930241968 |
申请日期 |
1993.09.02 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
SHINOZUKA SHUHEI;MATSUMURA MASAO;YOSHIOKA TAKESHI |
| 分类号 |
G01L21/30;(IPC1-7):G01L21/30 |
主分类号 |
G01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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