发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0774100(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930238867 申请日期 1993.08.31
申请人 NEC CORP 发明人 TOYOSHIMA HIDEO
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/78;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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