发明名称 DISPLAYING METHOD FOR CROSS SECTION STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0773235(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930243587 申请日期 1993.09.06
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TAZAWA SATOSHI;MATSUO SEITARO;OCHIAI KATSUYUKI;NAKAJIMA BAN
分类号 H01L29/00;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):G06F17/50 主分类号 H01L29/00
代理机构 代理人
主权项
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