| 发明名称 |
PLASMA CVD DEVICE AND CVD PROCESSING METHOD EMPLOYING THE DEVICE AND CLEANING METHOD FOR INSIDE OF THE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0773997(A) |
申请公布日期 |
1995.03.17 |
| 申请号 |
JP19940060681 |
申请日期 |
1994.03.30 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
KUGIMIYA TOSHIHIRO;UEDA HIROICHI;KUWATA MASAKAZU |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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