发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0774356(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930243895 申请日期 1993.09.03
申请人 NIPPON INTER ELECTRONICS CORP 发明人 FUJIMOTO SHINJI;FUKAZAWA TOSHIYUKI;SASAOKA SEIICHI
分类号 H01L29/167;H01L21/336;H01L29/68;H01L29/739;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/167
代理机构 代理人
主权项
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