发明名称 LAYOUT PATTERN VERIFICATION SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0774262(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930220196 申请日期 1993.09.03
申请人 SHARP CORP 发明人 TAKAO MASATO
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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