发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0774173(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930220338 申请日期 1993.09.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MAEDA HITOMI;NIWA HIDEO
分类号 H01L21/28;H01L21/283;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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