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发明名称 PROCESSING METHOD FOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0774158(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930238907 申请日期 1993.08.31
申请人 SONY CORP 发明人 KUBOTA MICHITAKA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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