发明名称 ELLIPSOMETER
摘要
申请公布号 JPH0772013(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930217397 申请日期 1993.09.01
申请人 PHOTO DEVICE KK 发明人 HIGASHIYA MITSURU;SEKINE KUNIO;KOGA MASAO;TOMITA KAZUTOMI
分类号 G01J4/00;(IPC1-7):G01J4/00 主分类号 G01J4/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利