发明名称 PLASMA CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPH0772277(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930349006 申请日期 1993.12.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MATSUTOMI SHOKICHI
分类号 G21B1/11;G21B1/00;H05H1/00;(IPC1-7):G21B1/00 主分类号 G21B1/11
代理机构 代理人
主权项
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