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发明名称 PIEZO-DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0774370(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930220813 申请日期 1993.09.06
申请人 KIMURA MITSUTERU 发明人 KIMURA MITSUTERU
分类号 H01L29/84;B81B3/00;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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