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发明名称
PATTERN FORMATION METHOD
摘要
申请公布号
JPH0774080(A)
申请公布日期
1995.03.17
申请号
JP19930219532
申请日期
1993.09.03
申请人
HITACHI LTD
发明人
FUKUDA HIROSHI
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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