| 发明名称 |
REFLECTOR AND ILLUMINATION DEVICE AND EXPOSURE DEVICE USING THE SAME AS WELL AS PRODUCTION OF DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0772318(A) |
申请公布日期 |
1995.03.17 |
| 申请号 |
JP19940033538 |
申请日期 |
1994.03.03 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
EBINUMA RYUICHI;WATANABE YUTAKA |
| 分类号 |
G02B5/10;G02B7/182;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/02;(IPC1-7):G02B5/10 |
主分类号 |
G02B5/10 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
