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发明名称 ION SOURCE FOR SLOW-ION SPUTTERING
摘要
申请公布号 CA912711(A) 申请公布日期 1972.10.17
申请号 CAD912711 申请日期
申请人 N.V. PHILIPS GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 WALTER F. K. LITTMANN;NORBERT E. F. HANSEN
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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