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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR VAPOR PHASE REACTION
摘要
申请公布号 JPH0774162(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930239145 申请日期 1993.08.31
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD;TOTSUKI KK 发明人 FUKADA TAKESHI;SAKAMA MITSUNORI;KAWANO ATSUSHI;YANAGI YUJI;JINBO TOSHIHIRO
分类号 C23C16/50;C23C16/515;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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