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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0774152(A) 申请公布日期 1995.03.17
申请号 JP19930218866 申请日期 1993.09.02
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TSUCHIDA TOMOAKI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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