RECUBRIMIENTOS DE NITRURO DE SILICIO PRODUCIDOS MEDIANTE LAMPARA EXCIMERA DE DESCARGA SILENCIOSA.

摘要

RECUBRIMIENTOS DE NITRURO DE SILICIO PRODUCIDOS MEDIANTE LAMPARA EXCIMERA DE DESCARGA SILENCIOSA. RECUBRIMIENTOS DE NITRURO DE SILICIO PUEDEN SER APLICADOS SOBRE DIFERENTES MATERIALES Y COMPONENTES POR MEDIO DE UN METODO BASADO EN LA DEPOSICION QUIMICA A PARTIR DE VAPOR INDUCIDA POR LAMPARA (LAMP-CVD). LA FLEXIBILIDAD DE ESTE METODO PERMITE CONTROLAR LAS PROPIEDADES FISICO-QUIMICAS DE LOS RECUBRIMIENTOS, SIENDO DE ESPECIAL APLICACION EN LOS CAMPOS DE LA MICROELECTRONICA, OPTOELECTRONICA, CELULAS SOLARES Y PROTECCION DE MATERIALES.