发明名称 Flüssigphasenepitaxievorrichtung
摘要
申请公布号 DE4206373(C2) 申请公布日期 1995.03.16
申请号 DE19924206373 申请日期 1992.02.29
申请人 TEMIC TELEFUNKEN MICROELECTRONIC GMBH, 74072 HEILBRONN, DE 发明人 BOMMER, ULRICH, DIPL.-ING., 7519 EPPINGEN, DE
分类号 C30B19/06;(IPC1-7):C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
地址