发明名称 Verfahren zur Herstellung von gasförmigen Fluoriden.
摘要
申请公布号 DE68916988(T2) 申请公布日期 1995.03.16
申请号 DE19896016988T 申请日期 1989.03.11
申请人 MITSUI TOATSU CHEMICALS, INC., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HARADA, ISAO, MR., SHIMONOSEKI-SHI YAMAGUCHI-KEN, JP;YODA, YUKIHIRO, MR., SHIMONOSEKI-SHI YAMAGUCHI-KEN, JP;IWANAGA, NARUYUKI, MR., SHIMONOSEKI-SHI YAMAGUCHI-KEN, JP;NISHITSUJI, TOSHIHIKO, MR., SHIMONOSEKI-SHI YAMAGUCHI-KEN, JP;KIKKAWA, AKIO, MR., SHIMONOSEKI-SHI YAMAGUCHI-KEN, JP
分类号 C01B9/08;C01B17/45;C01B25/10;C01B33/107;C01B35/06;C01G41/00;(IPC1-7):C01B9/08 主分类号 C01B9/08
代理机构 代理人
主权项
地址